Рост кристаллов кремния зависит от вакуума В основе всей полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности лежит идеальный кристалл. Слиток монокристаллического кремния, исходный материал для компьютерных чипов и высокоэффективных солнечных элементов, создается в результате процесса Чохральского (Чехия). В то время как точная механика съемника и мастерство оператора прославляются, промышленная вакуумная система, работающая на заднем плане, является невоспетым героем, который делает возможным выращивание с высокой чистотой. В этой статье рассматривается решающая роль вакуумной технологии в вытягивании кристаллов CZ и описываются насосные решения, которые обеспечивают производительность, чистоту и рентабельность.