5 распространенных проблем с вакуумными насосами в производстве полупроводников и способы их решения В сверхточном мире производства полупроводников вакуумные системы являются незамеченными героями. Они создают и поддерживают первозданную среду, необходимую для таких важных процессов, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), травление и ионная имплантация. Однако, когда вакуумный насос выходит из строя или работает неэффективно, это не просто вызывает незначительную задержку; это может привести к катастрофическим потерям производительности, дорогостоящим простоям инструментов и загрязнениям, которые ставят под угрозу целые производственные партии. В этом руководстве подробно описаны пять наиболее распространенных и дорогостоящих проблем с вакуумными насосами на заводах по производству полупроводников. Мы изучим их основные причины, предложим действенные решения и объясним, как выбор правильной технологии насоса с самого начала является наиболее эффективной профилактической стратегией.
Читать Далее